UV光催化氧化废气净化器利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子键，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子，产生游离氧，即活性氧。因游离氧所携正负电子不平衡，所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。净化装置由初滤单元、-C波段紫外线装置、降解收集、臭氧发生器及过滤单元等部件组成。另外通过特制二氧化钛催化板全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。