长子高澄继任大丞相,在任期间,击溃叛将侯景,拓两淮之地,收复河南,是个有作为的丞相。他开始为北齐建立做准备,但是,在受魏禅前夕却被家奴刺死。高澄死后,被追尊为文襄帝。
高澄死后,次子高洋袭位,很快废掉东魏的傀儡皇帝孝静帝,即帝位,是为文宣帝。国号齐,建都邺(今河南安阳北),史称北齐。上位后的高洋,整天沉溺在酒色,在皇位上呆了不到十年就崩了,年仅31岁(其实高洋是前明后昏,高家子弟的荒诞与精神病不无关系)。
高洋死后,他的长子高殷即位,而受命辅佐高殷的叔叔高演,则亲手把他给灭了,自己取而代之,是为孝昭帝,亦昭君之子。
高演在位期间,文治武功兼盛,关心民生,轻徭薄赋,并亲征北讨库莫奚,出长城,虏奔遁,分兵致讨,大获牛马。但是,从侄子手中抢得皇位的高演,却无力长久消受这种荣耀,即位翌年,便得重病而死。
高演死后,传位给九弟高湛,是为武成帝。但是,高湛也是个昏庸之主,整天沉湎于美色之中,不思国事。565年,传位于太子高纬,自任太上皇,最后也因为酒色过度而死,时年仅32岁。