全不锈钢1300×1200真空腔体，7个弧，7个升力源弧电源，一对中频（可装2对），一支平面靶（可装3支），两台辽宁真空龙KT-400扩散泵(可改成两台400分子泵），一台上海翠蔓ZJP-600罗茨泵，两台南光2X-70泵，一台南光维持泵，一台偏压电源，一台控制柜，三路七星华创流量计，清华大学真空计
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