方均根速率反映的是子体在温度为296K时穿过停止层的速率。氦原子的方均根速率为26500cm/s，它也是宇宙中最常见的原子，占大气中的90％以上。氦原子的体积小，它在停止层中的扩散受到少量的反作用，因此，它的方均根速率也很高。而有些原子的体积大，它在停止层会受到很多反作用，这也就导致了它的方均根速率降低，例如二氧化碳的方均根速率为165cm/s。