洁净室风速的不均匀度规定不大于±20%。不均匀度是指风速差别的大小，一般指同一个位置不同方向的风速差别，以及同一个方向不同位置的风速差别。如果风速比规定的不均匀度大，会影响洁净室内部的流动状态，从而导致空气污染物在洁净室内部存留时间延长，降低洁净室的洁净度。为了维持洁净室内空气流动的平衡性，洁净室通风系统设计时，必须满足风速的不均匀度要求。相应的，洁净室洁净度和不均匀度要求也会有所不同，例如100级洁净室的不均匀度要求更高。洁净室的通风系统中，风速不均匀度的控制有多种方法。常用的有采用同直径管道、调整风机叶片角度和装置压力调节装置等。此外，还可以采用风口安装及排管布置进行调节。