对单、多晶硅片进行去磷硅表面清洁处理；适用于25MW太阳能电池生产线对单、多晶硅片扩散后的处理工序。
成熟的单晶或多晶硅片的制绒工艺，来自德国先进技术；
彩色大屏幕人机界面操作，参数设置及多任务工艺方式转换方便；
全程自动控制、自动补液、工艺槽自动循环；充分保持液体均匀；
电脑机械手自动高效工作，伺服驱动方式和圆弧插補驱动方式；
选用国际品牌零部件，如SMC、三菱、易威奇、IGUS、西门子、松下、SEW、GF等；
采用PID控温方式，可精确控制液体温度±0.5℃；
全面完善的防酸防腐措施，避免机内系统被腐蚀，提高设备使用寿命；
采用德国进口PVC塑包最新技术，全面完善的防酸防腐措施，保证到机器每一个角落；
超大产能：1800片/小时[硅片尺寸4"、5"、6"]。
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