春秋战国时，魏国的邺都（今河南安阳一带）太守西门豹，上任后发现所辖地方巫师活动猖獗，不少家庭因巫师提出要给漳河里的河神“河伯”娶妻，搞得人财两空，百姓怨声载道，西门豹于是采取了“以巫治巫”的办法，在巫师给“河伯”娶妻的那天，将大巫和小巫投入河中，有力地打击了巫觋的歪门邪道。
汉代著名史学家司马迁针对巫术等迷信活动，提出了“究天人之际”和“通古今之变”的鲜明立场。他说，我看阴阳之术，都是巫士们杜撰出来的，以迎合统治者的需要，而使百姓受到约束。
汉代的桓谭揭露了那些迷信巫师的政治无能者，他指出，楚灵王信巫士道术和鬼神，结果是家破人亡；王莽好卜巫，信吉日，最终倒台毙命。
王充，他认为天道自然无为，天不会事事干涉人的活动，人也不可能以自己的行为感动天，使天降下灾异。但他不反对祥瑞说，也承认谶纬和生身有命。
东汉的王符是一位朴素的唯物主义者，他认为统治者对巫术等迷信要“断其邪”。他说，由于统治者的鼓动，生出许多弄神的巫祝来，迷惑百姓，以致于很多人得了病，不去求医，而去求巫请神，到死时还不知为巫师所害，以为是请巫太晚造成的。
三国时代的曹操，对巫术等迷信也深恶痛绝。他曾叹道，世人被巫师神仙所欺骗，真令人痛心！他到济南任相时，看到巫师盛行，劳民伤财，他果断地“禁止修建庙宇”，捣毁祠庙600多座，并下令不准去祠庙祭祀，以“除奸邪鬼神之事”，结果当时的巫术等迷信活动几乎绝迹。
南北朝的范缜曾提出了“形神相即”的观点。诚然，形神一元论的观点，并不都是唯物论的观点，范缜只是明确表示“形神相即”，“形灭神灭”，显然是在形神关系上坚持了唯物主义一无论。为了一步论证形神关系，范缜又提出了“形质神用”这个前人从没有提出过的崭新命题。所谓“质”，就是实体、实质的意思，“用”则是指功用、作用。引申之，质则指主体，用则指派生。这就是说，形是实体，是神的主体；神是作用，是由形派生出来的。神既然是形派生出来的，只是形的作用，那么它决不能脱离形这个主体而单独存在。即然形是主体，神只是主体的作用，那么把形作为第一性的，神作为第二性的，从而更加彻底，更加明确地坚持了唯物主义的一元论。
唐玄宗时候的李荃，对巫士宣扬的鬼神迷信进行了有力的批判。他说，神秘的天道和鬼神看不见、听不见、摸不到，虚无飘缈，实际上不存在，靠它何能决定战争的胜负，决定人的生存呢？
诗人刘禹锡被贬朗州时，看到那里地方偏辟，少数民族较多，且鼓吹巫术、祈祷之类，每次施行巫术，这里的人狂欢乱舞，口中胡言杂语。刘禹锡根据他们的声调作了一些有关文明教化的新词，教百姓和巫师学习，以提高他们对自然界的认识。
宋代的张载是理学的创始者之一。他认为人们迷信巫祝鬼神的原因主要是不明白自然界的规律和原理。如生活在偏僻地方的人缺少文明教化，受到冤屈不能申辩，于是就求巫信神；有些人得了病，请巫医来治疗，其中的一些人由于自身的抵抗力强而病愈了，还认为是巫觋的功劳。元代的储泳对巫术之类的迷信不仅严厉批评，而且通过现身说法，揭露巫术的等迷信活动的内幕。他指出，对欺世巫术，人们不懂得其底细，才上当受骗。一旦知道“邪之所以为邪”，人们就醒悟了。这些巫术迷信，不是采用药物就是魔术的方法来蒙骗群众，是“挟邪术、托鬼神以欺世”的骗术。
清初的熊伯龙的无神论思想尤为突出。他对有神论的批判是全面的，并批判地继承了前人有价值的无神论思想。
乾隆年间的洪亮吉也是一位重要的无神论者，他指出，巫师自称能通天地鬼神，不过是借用鬼神之名来行骗牟利。
以上有诸多古人不是真正意义上的无神论者，但是都有鲜明的无神论观点。