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mems微机电芯片封装设备 晶圆划片(切割、Die Saw):DISCO DAD321划片机 ↓ 固晶(粘片机、上芯机、Die Bonder):ASM AD860和ASM AD830固晶机 ↓ 引线键合(焊线、wire bond):KS Maxum plus、KS力IConn球焊机 ↓ 塑封(模压、Molding):ASM OSPERY塑封压机 ↓ 基板切割:韩国霓虹NDS-1012S切割机
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